报道 2024年4月即将到来，ASML将成立40周年——作为半导体行业的领先供应商，总部位于荷兰费尔德霍芬，以长期为芯片制造商提供硬件、软件和服务，以大规模生产集成电路（芯片）而闻名。

近日，ASML宣布2023年净销售额将达到276亿欧元，毛利率为51.3%，净利润为78亿欧元；与此同时，ASML预计2024年的净销售额将与2023年基本持平，预计2024年第一季度的净销售额将达到50亿至55亿欧元，毛利率将达到48%至49%。卓越的业绩和市场影响力再次等同于业界对ASML的期待。光刻巨头在微观世界是如何稳定而遥远的？

“铁三角”与微观世界的“品控师”无间合力

当一艘船或一架飞机离开荷兰，驶向世界各地的晶圆厂时，ASML的设备可能就在其中。此后，在芯片制造的数千个过程中，ASML在核心环节促进了“铁三角”（即光刻机、计算光刻、光学和电子束测量）的密切合作，并帮助芯片制造商生产更小、更强大、更智能的芯片。

ASML光刻技术在业内享有良好的声誉。ASML光刻机将芯片制造所需的电路图案投射到晶圆上，光刻起着定义工艺窗口的作用。作者听到的更具体的描述是：“在中国，每台ASML光刻机每年曝光的平均晶圆数接近200万片，连接的长度相当于5条黄浦江，叠加相当于3座东方明珠塔。”

为了避免芯片制造过程中的偏差，ASML电子束测量必须“站起来”。它具有分辨率高、视觉优势大的优点，更准确地扫描晶圆，收集数据，反馈给光刻机，高质量地完成测量和测试。

假如说光刻机、光学和电子束测量是实力的责任，那么“铁三角”中的隐形责任首先是计算光刻软件。通过其数学物理模型，准确模拟光刻中真实的物理化学过程，半导体存在复杂条件下探索最佳的光刻解决方案，指导后续的光刻行为。ASML工作人员提出了一个具体案例——客户使用ASML计算光刻产品，优化自由形式的成像光源和匹配的掩模地图，增强关键图形和易缺陷图形的成像，使工艺窗口增加30%以上！

几十年来，随着集成电路制造技术的快速发展，微观世界不断迎来科技革命，推动芯片微缩、提高利率和生产能力已成为ASML技术变革的孜孜不倦追求。在此过程中，“铁三角”全景光刻解决方案提供了重要支持——以“晶圆成像专家”光刻机为主要起点；辅以计算光刻和测量技术，深入干预制造环节，作为“质量控制器”准确保持质量水平，三者共同打造产业前进的坚实基石！

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不止全景光刻解决方案！自1984年成立以来，ASML与数千家外部供应商高度融合，提供强大的产品技术，保持积极的研发投资（ASML预计2024年第一季度研发成本约为10.7亿欧元）；在内部聚力方面，ASML团队始终坚持“3C文化”（Challenge）、合作共进（Collaborate）、关爱致远（Care），为“ASML人”的职业发展提供无限可能，充分挖掘自身潜力，为客户提供一流的服务。

光刻巨头已经行驶了40年了！2024年，ASML以行业领先的产品精度和生产效率，不断扩大制造能力，提升技术实力，在高端制造的“皇冠明珠”——集成电路行业追求卓越！

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